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연도별 개발진공장비

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KOVA Pursues Creativity and State of the Art Techonology.

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InnoMet-VH1100
핵심연구사항 : 수지계열 모재에 각종 금속코팅 및 Color 막코팅
InnoMet-VH1100 주요사양
  • Chamber : Ø1100x1100 Jig Ø900x900
  • Plasma 특성 분석
    • Plasma(MF)
    • Plasma(RF)
    • Endhole Type Ion Source
    • Closed Drift Ion Source
  • 박막 코팅
    • DC,RF CATHODE(BMS,UBMS) 3ea
    • REACTIVE Sputter 가능
    • PECVD 가능
    • E-Beam에 의한 Multi Coating가능
  • 다양한 코팅을 위한 유틸리티
    • 다양한 Target
      - SUS, Al ,Cr,Ag,Sn,Ti,Ni,SiO2,ZrO2...
    • 반응성 Gas 제어기능
      - Ar,HMDSO,N2,O2,N2O,CH4...
    • 실시간 박막 제어 System
      - MDC-360
    • 박막 특성분석
      - 알파스텝-막두께 분석
      - XRD-결정구조분석
      - UV/VIS spectrometer-투과/반사율 측정
R&D 기술개발 응용실적
자동차Lamp, LED Reflector Mobile Phone Case
Mobile Phone Touch Screen Film
Harmet -1000
핵심연구사항 : 금속재료에 고경도막코팅 (2000HV ~ 4500HV)
Harmet -1000 주요사양
  • Chamber Ø1000x1500H Jig Ø700x1000
  • Plasma 특성 분석
    • Plasma(MF/RF)
    • Bias(DC, RF, Puls DC)
    • Endhole Type Ion Source
    • Closed Drift Ion Source
  • 박막 코팅
    • DC,RF (BMS,UBMS) 2ea 확장4개소
    • REACTIVE Sputter 가능
    • PECVD 가능
    • ARC 4",5" 3개소장착(확장 12개소)
    • S-FCA Cathode 장착
  • 다양한 코팅을 위한 유틸리티
    • 다양한 Target
      - AiTi,AlCr,AlSi,Cr,Ag,Sn,Ni,SiO2,C...
    • 반응성 Gas 제어기능
      - Ar,HMDSO,N2,O2,N2O,CH4,C2H2...
    • 하이브리드 코팅 제어
      - Sputter+AIP+PECVD
    • 박막 특성분석
      - 알파스텝-막두께 분석
      - XRD-결정구조분석
      - UV/VIS spectrometer-투과/반사율 측정
R&D 기술개발 응용실적
금속의 소성가공용 압출 · 인발 Dise 금속 Press, PVC 사출성형용 금형표면의 Hard Coating
금속절삭공구 및 내마모성이 요구되는 각종 치공구류
Harmet -800DLC
핵심연구사항 : 금속 및 수지재료에 고경도막코팅 (1500HV ~ 4500HV)
Harmet -800DLC 주요사양
  • Chamber Ø1000x 2900H Jig Ø700x1850H
  • Plasma 특성 분석
    • Plasma(DC/RF)
    • Bias(DC, RF, Puls DC)
  • DLC (Diamond Like Carbon) 박막 코팅
    • DC,RF PECVD
  • 다양한 코팅을 위한 유틸리티
    • 반응성 Gas 제어기능
      - Ar,HMDSO,N2,O2,N2O,CH4,C2H2...
    • 박막 특성분석
      - 알파스텝-막두께 분석
      - XRD-결정구조분석
      - 밀착력,표면경도(1500HV~4500HV)
      - 마찰계수측정 등
R&D 기술개발 응용실적
금속절삭공구의 고경도 및 내마모성 · 장수명이 요구되는 공구류 자동차부품의 내마모성 및 윤활성이 요구되는 각종 부품류
금속가공 치공구 또는 부품 표면의 내마모성,
고윤활성이 요구되는 각종 특수 부품류
Linemet - 4V
핵심연구사항 : 대면적 Glass에 금속막 코팅 및 Color 코팅
Linemet - 4V 주요사양
  • Chamber 1500Wx 1800Hx4개 Jig 1200Wx1300H
  • Plasma 특성 분석
    • Plasma(MF/RF)
    • Bias(DC, RF, Puls DC)
  • 박막 코팅
    • DC,RF (BMS,UBMS) 2ea 확장4개소
    • REACTIVE Sputter 가능
    • PECVD 가능
  • 다양한 코팅을 위한 유틸리티
    • 다양한 Target
      - AiTi,AlCr,AlSi,Cr,Ag,Sn,Ni,SiO2,C...
    • 반응성 Gas 제어기능
      - Ar,HMDSO,N2,O2,N2O,CH4,C2H2...
    • 하이브리드 코팅 제어
      - Sputter+AIP+PECVD
    • 박막 특성분석
      - 알파스텝-막두께 분석
      - XRD-결정구조분석
      - UV/VIS spectrometer-투과/반사율 측정
R&D 기술개발 응용실적
Mobile용 Glass 투명 Touch Screen Panel
건축용 대형 Glass에 자외선 차단으로 Energy 절감 및 각종 Color코팅