Automotive Head Lamp Reflector Sputter Coating System

▣ 본 장치는 자동차용 Head Lamp 부품에 AL의 부착성을 향상시키기 위하여 Plasma,AL Sputter, CVD법으로 SiO2 Top Coating을 실시하는 설비로서 생산 Time 단축, 앞 공정과 최적의 Matching 설비임.

설비구성 Auto In-line Type 5 Chamber
도달진공 3 x 10-6 Torr
배기구성

D/P + Poly Cold + MBP + PRP
제품구동 자전 + 공전
Coating 재료 AL, Cr, SUS, Ni, Cu
Cycle Time 1~2 min