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R&D现状

研究所保有设备

研究所保有分析机机

每年的开发真空设备

R&D现状
KOVA Pursues Creativity and State of the Art Techonology.

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InnoMet-VH1100
核心研究事项 : 在树脂系列毛料,各种金属镀膜及Color摸镀膜
InnoMet-VH1100 主要配置
  • Chamber : Ø1100x1100 Jig Ø900x900
  • Plasma 特性分析
    • Plasma(MF)
    • Plasma(RF)
    • Endhole Type Ion Source
    • Closed Drift Ion Source
  • 薄膜镀膜
    • DC,RF CATHODE(BMS,UBMS) 3ea
    • REACTIVE Sputter 可以
    • PECVD 可以
    • 因E-Beam,Multi Coating可以
  • 为多种镀膜准备的实用主义
    • 多种Target
      - SUS, Al ,Cr,Ag,Sn,Ti,Ni,SiO2,ZrO2...
    • 反应性Gas控制功能
      - Ar,HMDSO,N2,O2,N2O,CH4...
    • 实时间薄膜控制System
      - MDC-360
    • 薄膜特性分析
      - Alpha Step-摸厚度 分析
      - XRD-决定结构分析
      - UV/VIS spectrometer-透过/反射率测定
R&D 技术开发应用业绩
汽车Lamp, LED Reflector Mobile Phone Case
Mobile Phone Touch Screen Film
Harmet -1000
核心研究事项 : 对金属材料高硬度摸镀膜 (2000HV ~ 4500HV)
Harmet-1000 主要配置
  • Chamber Ø1000x1500H Jig Ø700x1000
  • Plasma 特性 分析
    • Plasma(MF/RF)
    • Bias(DC, RF, Puls DC)
    • Endhole Type Ion Source
    • Closed Drift Ion Source
  • 薄膜 镀膜
    • DC, RF(BMS, UBMS) 2ea 扩展4个处
    • REACTIVE Sputter 可以
    • RECVD 可以
    • ARC 4", 5" 3个小安装(扩12个处)
    • S-FCA Cathode 安装
  • 为多种镀膜准备的实用主义
    • 多种Target
      - AiTi,AlCr,AlSi,Cr,Ag,Sn,Ni,SiO2,C...
    • 反应性Gas控制功能
      - Ar,HMDSO,N2,O2,N2O,CH4,C2H2...
    • 混合动力镀膜控制
      - Sputter+AIP+PECVD
    • 薄膜特性分析
      - Alpha Step-摸厚度 分析
      - XRD-决定结构分析
      - UV/VIS spectrometer-透过/反射率测定
R&D 技术开发应用业绩
金属的塑性加工用挤压‧印发Dise 金属Press, PVC注塑成型用金型表面的Hard Coating
要求金属切削工具及耐磨耗性的各种修理工具类
Harmet -800DLC
核心研究事项 : 在金属及树脂材料高硬度摸镀膜(1500HV ~ 4500HV)
Harmet-800DLC 主要配置
  • Chamber Ø1000x 2900H Jig Ø700x1850H
  • Plasma 特性 分析
    • Plasma(DC/RF)
    • Bias(DC, RF, Puls DC)
  • DLC(Diamond Like Carbon) 薄膜镀膜
    • DC,RF PECVD
  • 为多种镀膜准备的实用主义
    • 反应性Gas控制功能
      - Ar,HMDSO,N2,O2,N2O,CH4,C2H2...
    • 薄膜特性分析
      - Alpha Step-摸厚度分析
      - XRD-决定结构分析
      - 抓力, 表面硬度(1500HV~4500HV)
      - 摩擦系数测定 等
R&D 技术开发应用业绩
金属切削工具的高硬度及耐磨耗性-需要寿命的机机类 要求汽车部件的耐磨耗性及润滑性的各种部件类
要求金属加修理工具或者部件表面的耐磨耗性,
高润滑性各种特殊部件类
Linemet - 4V
核心研究事项 : 在大面积Glass,金属摸镀膜及Color镀膜
Linemet-4V 主要配置
  • Camber 1500W x 1800H x4个Jig200W x 1300H
  • Plasma 特性分析
    • Plasma(MF/RF)
    • Bias(DC, RF, Puls DC)
  • 薄膜镀膜
    • DC, RF(BMS,UBMS) 2ea扩张4处
    • REACTIVE Sputter 可以
    • PECVD 可以
  • 为多种镀膜准备的实用主义
    • 多种Target
      - AiTi,AlCr,AlSi,Cr,Ag,Sn,Ni,SiO2,C...
    • 反应性Gas控制功能
      - Ar,HMDSO,N2,O2,N2O,CH4,C2H2...
    • 混合动力镀膜控制
      - Sputter+AIP+PECVD
    • 薄膜特性分析
      - Alpha Step-摸厚度分析
      - XRD-决定结构分析
      - UV/VIS spectrometer-透过/反射率测定
R&D技术开发应用业绩
Mobile用Glass透明Touch Screen Panel
在建筑用大型Glass上用紫外线阻挡Energy降低及各种Color镀膜